線軸筒、z軸工作臺、y軸工作臺、擺動裝置、夾具等組成。
它被命名為dh045a,045指的是機器使用的金剛石切割線。
金剛石切割線也屬于東華的專利產品,鋼絲直徑只有0.045毫米,一臺機器里儲存的金剛石切割線長達50公里。
機器的數控和機電部分則由翟華完成。
它的性能非常先進,可以對900毫米長度的硅棒進行切割,根據設定,能夠切割6英寸、8英寸、12英寸的半導體級硅棒。
在此基礎上,還將進一步研制dh045b型硅片切割機,b型機將用來切割太陽能級單晶硅棒。
用這臺機器切割出來的硅片,厚度在0.35毫米左右,線損不超過0.3毫米,硅片表面損傷小,后續打磨更容易。
機器使用的零部件,除了部分測量和傳感設備外,全部由東華完成零部件的設計與開發,國產化率超過90。
張保東參與開發的則是硅片研磨。
研磨設備就是一臺大型臥式圓臺磨床,可以放多張硅晶片。
拋光設備,則是化學機械拋光機,化學機械拋光,簡稱p。
p的機械結構并不復雜,大致由循環泵、拋光液池、過濾磁環、拋光機、工件臺、拋光墊、拋光盤、回收箱等十幾個部件組成。
體現它的性能的是設備的穩定性,高精度和平整度,以確保加工出來的硅片呈現為完美的鏡面。
這幾種機械能夠成功研制出來,得益于安美森與阿斯麥成功收購了svg公司。
&n作為光刻設備制造商,它的機械制造水平絕對處于藍星頂流的那一批,對加工硅晶片也有相當雄厚的技術儲備。
&n時,阿斯麥提出,鑒于屬地管理原則,建議由安美森公司負責svg的生產環節的管理,并開拓山姆國內的光刻機市場,阿斯麥側重于組織svg的研發機構和人員,進行相關設備的攻關。
為啥把生產交給安美森?
&n的全部員工在一年內不得被辭退,即使生產中斷也要保證他們的基本工資,這部分開支每年大概1.2億刀,連帶其它日常開支每年的負擔超過1.5億刀。
把生產推給安美森,就意味著安美森負責員工開支。
對此,安德烈與陳立東協商后,沒有與阿斯麥討價還價,不過安美森提出意見是,svg的科研機構必須留在三藩市,科研人員大部分時間也會在本土,阿斯麥負責安排研發項目,督導研發進度。
&n大部分工程師的意愿,阿斯麥也沒有推辭。
&n多年來沉淀的技術資料,擁有了上千項技術專利,以及進入山姆國參與euv聯盟的入場券,并成功的將負擔甩給了安美森,這也算是一種勝利。
&n的日常運營管理,還是由原來的團隊負責。
但有句老話叫“吃誰向著誰”,安美森負擔了日常開支,便擁有了對svg更多的話語權。
&n的技術信息和專利同樣被安美森得到,陳立東毫不猶豫地就把技術資料拿了過來。
&n是否保留,將要看svg員工的貢獻和心態,按照陳立東的分析,svg早晚要關,至于它的遺產落到誰的手里,就要看安美森和阿斯麥的手段了。
遺產是啥?
其實主要是那些工程師們,雖然明面上安美森負責他們的開支,但背后阿斯麥肯定會對一些人員極盡拉攏,勾心斗角的事情多著呢......
話說,劉柏超和張保東參與的硅片加工設備的研制,依托于svg的技術資料,卻并非一味的照搬山寨,每件設備、每個部件都經過了精雕細琢,數控部分也經過反復測試,力求更加完美。
特別是金剛線切割設備,絕對處于領先地位,上述晶圓加工設備,都將申請注冊專利。