在芯片行業有個摩爾定律,它是由英特爾創始人之一的戈登.摩爾提出來的,內容為:
當價格不變時,集成電路上所能容納的晶體管數目每隔大約18到24個月就會增加一倍,性能也將提升一倍。
而進入2002年后,業內人士一致認為,摩爾定律怕是要失效了。
這時全球芯片行業開始進入瓶頸期,光刻機的光源波長卡在193nm,芯片的制程也止步在65nm。
這對光刻機等設備制造商來說,幾乎是致命性的打擊。
芯片制程兩年突破一個臺階,是因為技術引領下的光刻設備的進步,每一次進步和突破都意味著巨大的商機。
現在技術止步不前,就等于產品無法更新換代,企業營收就無法保證。
SVG也正是因為前期投入巨資進行科研,而無法取得實質性成果,這才導致被出售的結局。
芯片制程,可以理解為集成電路內電路之間的距離,通常來說,制程節點越小,意味著晶體管越小、速度越快、能耗表現越好。
1992年,芯片制程的工藝節點達到了500納米,1995年350納米,1997年200納米,1999年140納米,2001年實現了65納米。
此時全球光刻機巨頭尼康、佳能、阿斯麥以及已經被阿斯麥和安美森收購的SVG,都在執著于用157納米波長的光源,在“干式”光刻技術上尋求突破。
阿斯麥和SVG加入的EUVLLC聯盟,對極紫外光源有了一定的研究成果,但這種波長只有納米的光源真正用到光刻機上還有一個漫長的過程。
業內人士堅持認為,在光刻技術“摩爾定律”上,157納米的光源、“干式”光刻技術,就是唯一的賽道。
而林古峰不這么認為,特別是在安美森和阿斯麥聯合收購了SVG后,林谷峰親自跟進了光源項目研究小組的進度,更加感到157納米波長的光,不適用于光刻領域。
林谷峰跟陳立東解釋說:“因為空氣中的氧氣會吸收157納米的光,所以光經過的整個路徑必須只有惰性氣體,現在只能用氮氣。
氮氣的成本很高,而且如果意外漏出太多氮氣會致命的。
我算了一下,157納米只比193納米短23%,換句話說,只能把解析度提高23%。
用193納米加水可以提高46%,幾乎是兩倍,因為波長只在水中變短為132納米。
光在進入水前的波長是193納米,可以避開所有157納米的困難,能改進46%,又容易被半導體業接受,真是天造之合,這是上帝給半導體業的奇妙安排。”
說道最后,林谷峰瘦削的臉龐上漾起一片緋紅,仿佛真的感受到了上帝的關愛一般。
陳立東算了算,好像46%的數值算的不太對,如果由他來算,波長變短為31%,但即使31%也是一大進步不是。
林谷峰說得這些,他勉強聽得懂,可是對方說這些又是什么意思呢?
陳立東輕輕咳了一下,然后問道:“林先生,是不是您的工作遇到了困難?”
安德烈在一旁插嘴說:“林叔叔的意見遭受到了質疑,戴爾.托羅西安甚至私下跟我說,讓我將林叔叔從他那邊調走。
他們認為林叔叔是在攪局,因為SVG在157納米光源方面已經投入了10個多億,他還說全球各個光刻機臺的廠商在157納米光源方面的投入要超過25億刀。
另外,我感覺他們還對華人指揮他們這些白人工程師懷有抵觸情緒。”
陳立東哈哈笑著說:“林先生,哦不,我也叫您林叔叔吧。
‘真理往往掌握在少數人手中’,您說的光源技術