“先把塊狀的高純度復晶硅置于石英坩鍋內,加熱使其溶化!”周繼龍按動機器的按鈕,熊老和柴老都都過玻璃窗看著里面的變化!
“老周、溫度達到多少了!”熊老看著石英鍋里稍微有點變化的高純度復硅晶,將目光看向了一旁的周繼龍!
“剛剛1000攝氏度,還沒有達到完全融化點,溫度在持續上升中!”
很快溫度就達到了高純度復晶硅的熔點1420攝氏度,融化程度明顯加快了,不多時石英坩堝里的復硅晶已經完全融化!
“晶棒的制作一定要小心、插入的時候小心點,溫度也要控制好!”
隨著時間的推移,一根完美的晶棒慢慢地呈現在了眾人的面前!
“老周晶棒達到12寸了沒有!”柴老一臉緊張的看著正在機器測量晶棒!
“達到了!而且非常的均勻、切掉頭尾、其他的都是12寸!”
“好!”熊老等人無不拍手稱好。
“開始下面的流程吧!等我們把成品做出來了諸位在開心也不遲!”熊老的話讓周繼龍和柴老瞬間都安靜了、平息了心里的激動,又開始了接下來操作!
先是把外徑打磨一下,因為制造的時候難免會有一些誤差,就造成晶棒外園柱面凹凸不平,所以必須對外徑進行修整、研磨,使其尺寸、形狀誤差均小于允許偏差!
由于制造工藝的緣故,所以周繼龍就簡單的打磨一下就好了!
接著又經過了切割、研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗等諸多的流程,二十塊精美的晶圓片就出現在了幾人的面前!
“老…老周!你…你快檢查一下、這…這塊晶圓片是否達到規定的尺寸、形狀、表面光潔度、平整度等技術指標,一定要仔細檢查好了!”柴老看著面前的晶圓片、一時間說話都有點結結巴巴的啦!
“一定要仔細的檢查一遍,還有就是工藝流程我們等下也要在好好琢磨一下,我們制造二十塊就花了一個多小時、要想達成量產,以我們現在的速度、完全是癡心妄想!”
“嗯、放心吧!我馬上檢測一下!”周繼龍說完就把晶圓拿出來仔細的檢測了起來。
很快周繼龍就是一臉興奮的說道:“完全沒有問題,我相信絕對是達到了世界級水平!”
“真的!”幾道聲音不約而同地響了起來!
“嗯!”周繼龍重重的點了點頭!
“好、我們在制造幾次,看晶圓片的良品率是不是一直這么高!”
“好!”周繼龍把晶圓片小心翼翼的放好,就繼續操作了起來,很快生產線又開始了運作,更具設定好的參數、這一次更快了!
沒用到40分鐘就制造出來了第二批次,不過周繼龍的臉色并不太好!
“怎么了?老周、是出現什么情況了嗎?”
“有點不規則、可能是剛才打磨的時候沒注意,在來過!”
幾人一直忙到了晚上8點多,每個人的臉上都掛著疲倦,看著一旁擺著的晶圓片,能夠與第一批次媲美的少之又少!
“三位、時間也不早了,明天再來繼續研究吧,更何況我目前的成功率已經很高了、只要把良品率提起來就好了!到時候你們要是累到了、老板肯定會讓我脫層皮的!”林武看著幾人的樣子、忍不住把周超拉出來擋擋箭牌了!
周繼龍聞言也點了點頭說道:“就是、先休息,明天我們帶幾個下屬一起研究,到時候我們也輕松一點,更何況三個臭皮匠頂個諸葛亮,也許明天就有辦法解決呢!”
熊老和柴老聽到二人的話,點了點頭,隨即幾人收拾了一下,就準備離開廠房!
“老周、我準備把第一批次中的晶圓片拿給老板看看!”林武的話、讓原本離開的幾人都停住了腳步!
“好!你現在就拿過去給老板看看