用上之前要是理解都理解不了,那他們這些人還是都回家種田好了。
而后,他們便開始討論起來,針對這個模型中的每一個細節展開討論。
在場的人都是這方面的專家,對于離子拋光也有著十分多的研究,而他們越是對這個數學模型進行解讀,越是能夠感受到林曉的能力之強。
變量越多,就越難將它們綜合起來,換成是他們,要是來搞這個模型的話,恐怕都足夠他們組織個好多個人,然后向上申請個百萬經費,好好研究個一年半載。
就這樣,他們經過了好幾天的討論,再加上和林曉那邊的溝通,終于理清了這個模型。
而后,便是用這個模型優化他們的離子束拋光系統。
系統優化是一個比較長的過程,他們還需要不斷檢驗程序的正確性,確定。
所以這又需要很長時間,當然,這些時間,相比較看不到成功的時間,完全不是問題。
……
鏡片拋光技術搞定了,接下來的林曉,便開始了對雙工作臺的研究。
雙工作臺是能夠增加光刻機生產效率的部件,一個工作臺對硅晶圓進行掃描,一個工作臺進行光刻。
華國在雙工作臺技術上已經實現了一次重要的突破,利用磁懸浮微動技術,實現了運動精度優于2n的精密程度,提高了雙工作臺的分辨率,被認為是世界上除了阿斯麥爾第二個掌握了光刻機雙工作臺技術的國家。
只不過,這項技術在實際運用上還有較多的問題,這個突破的雙工作臺,并不能直接用于euv光刻機上。
當然,相比較存在問題,至少現在是有實體的,那么這對于林曉來說,要實現優化并不困難,不過除了優化之外,其中有點最關鍵的,還是基本儀器的精度上限。
林曉的優化,只能盡力讓他們的儀器利用程度達到上限,但是卻不能拔高這些儀器精度的上限,儀器精度上限的拔高,只能是這個儀器的基本屬性能夠得到提高。
就相當于他是一個頂級游戲高手,操作著一個兩神裝人物去打一個菜鳥使用的四神裝人物,他憑借操作還能擊敗這個菜鳥,但是對方如果是六神裝的菜鳥,一刀就能把他給干掉,他操作再好,也不可能躲掉人家的普通攻擊嘛。
當然,他們現在也不是沒有機會去提高這個儀器的上限,也就是編碼器技術。
林曉當初研究八分結構的編碼器,就是為了光刻機各個方面的研發,而現在他們將編碼器的精度提升了上去,這些精度也就都能夠實現提升,包括先前的離子束拋光技術,只要他們提升了編碼器的精度,這些問題都將不是問題。
而現在,全國對于八分結構編碼器的研究都進入了熱潮,畢竟明眼人都能看到,只要利用這種新編碼器研究出了更加精準的電機,對于一直以來都十分缺少超精密儀器的華國來說,到時候可是能夠賺到大筆的錢。
當然,由于林曉對于那些外企的限制,所以從事這方面研究的都是國人的企業,更多的是國企研究機構,這樣的熱潮,那些外企也只能看著,除了眼紅,沒有任何辦法。
而現在,實際上已經有不少用上了八分結構的編碼器上市了,這些編碼器因為制造成本低,不需要那種先進傳感器,所以在價格上相對來說也更便宜一些,所以這類編碼器也開始占據各種有關的市場,比如電梯市場,以及一些中低精度伺服電機的市場。
至于高精度伺服電機倒是還在研究中,但是也就是考慮如何將八分結構更好地嵌入到原來的結構中去而已,在難度上并不高。
像雙工作臺的伺服電機編碼器也正處于積極研發當中。
只要這些編碼器研究出來后,所有問題都將迎刃而解。
……
時間來到了八月份。
八月份是個