后生產(chǎn)出來(lái)呢,結(jié)果林曉居然打算直接生產(chǎn)華威的麒麟9000?
這怎么可能做到?!
麒麟9000可都是5nm制程的芯片了,他們?cè)趺纯赡茏龅剑?
然而,林曉只是淡然一笑,說(shuō)道:“誰(shuí)說(shuō)我們沒(méi)有相應(yīng)的生產(chǎn)工藝的?”
在場(chǎng)的人們眼睛又是一瞪。
“林總師……你不會(huì)想說(shuō),你連生產(chǎn)工藝的問(wèn)題都解決了吧?”
楊凱平露出了一個(gè)難以置信的表情,看著林曉。
林曉神秘一笑:“這件事情,暫時(shí)保密。”
而后他說(shuō)道:“好了,現(xiàn)在咱們繼續(xù)試一下咱們光刻機(jī)的完整工作流程吧。”
見(jiàn)到林曉不說(shuō),在場(chǎng)的人心都是癢癢的,他們的林總師,難道真的連最關(guān)鍵的生產(chǎn)工藝都解決了?
但是沒(méi)辦法,總不能逼林曉說(shuō)吧?
于是他們也只能在心中吐槽一句林總師不講武德,就喜歡吊人胃口,而后便老老實(shí)實(shí)地按照林曉的要求,開(kāi)始進(jìn)行了對(duì)X光刻機(jī)的第二道檢測(cè)工序。
如果說(shuō)自檢是光刻機(jī)合格的關(guān)鍵,那么接下來(lái)模擬光刻機(jī)完整工作流程,就是確定其十分能夠達(dá)到設(shè)計(jì)目的的關(guān)鍵了。
特別是生產(chǎn)效率方面。
根據(jù)他們的計(jì)算,他們X光刻機(jī)的生產(chǎn)效率,比阿斯麥爾當(dāng)前最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),要高40!
那么,現(xiàn)在開(kāi)始進(jìn)行模擬測(cè)試,能否達(dá)到這種生產(chǎn)效率呢?
在場(chǎng)的所有人都期待起來(lái)。
首先是給光刻機(jī)里面放入硅晶圓,很快工作人員推著放置著十塊硅晶圓的推車(chē)來(lái)到了光刻機(jī)的硅晶圓入口,然后依次將這些硅晶圓投入進(jìn)去。
這些硅晶圓是上硅產(chǎn)業(yè)免費(fèi)提供的,專門(mén)用來(lái)給他們進(jìn)行測(cè)試。
一年過(guò)去,上硅產(chǎn)業(yè)的硅晶圓產(chǎn)量已經(jīng)到達(dá)了世界前三的程度,正在擴(kuò)建生產(chǎn)線,打算和排在前兩名的日本廠家碰一碰,現(xiàn)在也算是財(cái)大氣粗了,之前就表示過(guò),X光計(jì)劃測(cè)試用硅晶圓,要多少塊他們就提供多少塊,都不要錢(qián)。
對(duì)于上硅產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō),這點(diǎn)硅晶圓當(dāng)然都不算什么,他們也算是投桃報(bào)李了。
回到X光刻機(jī)中來(lái),隨著硅晶圓放入光刻機(jī)硅晶圓入口之后,內(nèi)部便有一個(gè)機(jī)械手,將第一塊硅晶圓托了起來(lái),當(dāng)然,是從下面托起來(lái),并沒(méi)有傷害到光滑面。
而后,這個(gè)機(jī)械手就這么托著這塊硅晶圓,轉(zhuǎn)了一圈,然后將其剛好放到了第一個(gè)工作臺(tái)上,隨后這個(gè)工作臺(tái)便進(jìn)入了預(yù)定位置,開(kāi)始了對(duì)硅晶圓的預(yù)掃描。
掃描了大概八秒鐘之后,這個(gè)工作臺(tái)便結(jié)束了掃描工作,迅速地和另外一個(gè)工作臺(tái)交換了位置,替換了過(guò)去,來(lái)到了RDX純硅晶體透鏡下。
接下來(lái),就是最關(guān)鍵的時(shí)候來(lái)了,也就是他們的X光能否按照既定圖案,在這個(gè)硅晶圓上刻出來(lái),并且鋪滿650片!
也就相當(dāng)于650片芯片!
單片芯片為80平方毫米,他們所用的12英寸硅晶圓面積大概為70659平方毫米,除去邊角料的損耗,最佳方案剛好能夠生產(chǎn)650片芯片!
當(dāng)然,他們計(jì)劃刻出的芯片很簡(jiǎn)單,或者說(shuō),甚至不能稱之為芯片,因?yàn)樗麄冎皇窃谏厦婵坛黾{米級(jí)別的X圖案而已,而他們所使用的光源波長(zhǎng)為3.56納米,這就等于說(shuō),他們?cè)谏厦婺軌蚩坛鼍€條寬度為3.56nm的X,而線條長(zhǎng)度則差不多在35nm左右,是線條寬度的十倍,也就相當(dāng)于,一個(gè)X占據(jù)的面積大概為600平方納米,而這樣一來(lái),一片80平方毫米芯片上,也將緊緊密布高達(dá)1333億個(gè)X!
這就是人類最精密的機(jī)器!
肉眼無(wú)法見(jiàn)到的X光被激發(fā),通過(guò)RDX純硅晶體透鏡,照在了硅晶圓上面。