特定細(xì)胞病毒的設(shè)想有些異曲同工的味道。
當(dāng)然,這兩種技術(shù)是完全不同的,只不過(guò)其中的部分原理可能通用而已。
這時(shí),實(shí)驗(yàn)室的大門(mén)再次被打開(kāi),陳神的眼光轉(zhuǎn)過(guò)去,一個(gè)人正推著一車(chē)晶圓,緩緩走來(lái)。
“那些就是我們從晶圓廠那邊收到的第一批特制晶圓。”劉院士介紹道。
芯片的基礎(chǔ)就是晶圓,沒(méi)有了晶圓芯片就沒(méi)有了地基。
而碳基芯片的晶圓與硅基芯片是不一樣的,現(xiàn)在看來(lái)晶圓廠那邊是圓滿完成了他們的任務(wù)。
晶圓分別被推到組裝機(jī)和印刷機(jī)的入料口前面,隨后由現(xiàn)場(chǎng)的工程師按規(guī)程放入兩臺(tái)機(jī)器中。
從外面的透明窗口可以看到,晶圓被放入機(jī)器之后,就被有序放入各種溶液凹槽中浸泡,在達(dá)到設(shè)定時(shí)間之后,又從這個(gè)凹槽被換到另一個(gè)凹槽。
在這些溶液轉(zhuǎn)換之間,晶圓表面正與這些特殊的溶液發(fā)生反應(yīng),一些肉眼不可視的變化正在按照設(shè)計(jì)的預(yù)期緩緩發(fā)生……
與硅基生產(chǎn)工藝側(cè)重物理工藝不同,目前碳基芯片的生產(chǎn)工藝更側(cè)重生化層面,面前這兩臺(tái)機(jī)器就是明證。
這兩臺(tái)機(jī)器里面最為重要的是它們加注的特殊溶液,只有這些溶液與晶圓表面發(fā)生反應(yīng)才可以加工出合格的晶圓,機(jī)器本身反而不重要,只要保持穩(wěn)定運(yùn)行就好。
在實(shí)驗(yàn)區(qū)外等候的眾人心里都像吊著一塊大石頭,這還是他們第一次把各個(gè)步驟整合起來(lái)進(jìn)行實(shí)驗(yàn),也是第一次機(jī)器實(shí)驗(yàn)。
之前的實(shí)驗(yàn)他們都是依靠人工進(jìn)行的,如果這次兩臺(tái)機(jī)器的運(yùn)行成功的話,那么可以碳基芯片產(chǎn)業(yè)化的第一階段也算是成功了,日后這兩個(gè)工藝步驟只要改裝這兩臺(tái)機(jī)器就好。
只不過(guò)兩分鐘的功夫,送進(jìn)去的晶圓泡完了所有的溶液,在眾人期待的眼光下被送了出來(lái)。
“快,看看碳管的組裝情況,另外把印刷機(jī)送出來(lái)的晶圓放到離子刻蝕機(jī)里面。”劉院士連忙指揮起來(lái)。
現(xiàn)場(chǎng)的人們頓時(shí)忙碌起來(lái),眾星捧月般護(hù)送著兩塊晶圓,其中一塊送到旁邊進(jìn)行人工檢測(cè),另一塊則送入刻蝕機(jī)進(jìn)行再次加工。
檢測(cè)就在現(xiàn)場(chǎng)舉行,檢測(cè)人員在工作臺(tái)上一番操作之后突然轉(zhuǎn)身,緊接著激動(dòng)的聲音就傳了過(guò)來(lái):“碳納米管的組裝沒(méi)有問(wèn)題,與設(shè)計(jì)預(yù)期完全相符!”
請(qǐng):