汪正評對于公司現在所取得的成績是很開心的,但他知道能有今天的成績大部分是石莫的功勞,每每想起石莫對半導體技術的看視,重金投入,大筆的燒錢,他都有一點興奮,有些慶幸他兩年前沒有拒絕石莫的邀請。
汪正評作為一個技術宅,是很樂意見到半導體技術的快速進步的,身為這個行業內的一份子,對于石莫的瘋狂投入技術研發的壯舉,使他有一種狂熱的感覺。
石莫在2012實驗室設立的半導體研究所和半導體設備研究所,為晶圓廠的建設了很大的幫助,沒有他們的支持,別說第二座晶圓廠的成功興建了,可以說首座晶圓廠的建設都可能會失敗,想順利開工投產很難。
這兩年,林本堅和馬佐憑等人組織了3000多名技術精英,共同研制公司的高性能dra和處理器的制程設備等。其中一個目標是在近期突破64k dra和256k dra的實用化,遠期在510年內,實現1 dra的實用化。
現在林本堅他們正在進行超大規模集成電路(vlsi)的相關設備和材料的研發,有望在1985年完成“vlsi”項目,而此項技術在日國1980年時就已經研發成功。
新世界公司從1980年開始重金投入研發,建立了完善的趕超日國dra產業和美國芯片設計產業的研發體系。
新世界建立了3個研發中心,分別在香港、美國硅谷和日國東京。與之對應的是,研究費用成倍投入,1980年新世界在半導體領域的有效研發投入僅有8850萬美金,到現在已經高達9億美金。在專利技術方面,1980年新世界的專利技術應用有708項,目前已經上升到2336項。
石莫一行人來到制造半導體產品最關鍵的,位于第三層的無塵室,設備維護工作則在二層的“subfab”層完成,這個工廠的生產重心是閃存顆粒,旁邊的另一個工廠才是生產處理器。
孟婉池是首次進入半導體行業,擔任理事長助理一職。這次是第一次參觀晶圓廠,看著地面并非是她平常所了解的硬地板,而是采用的一種類似于網狀的設計,但是卻非常的堅固,有些疑惑,于是好奇的向汪正評問道“汪經理,請問地面為什么要做成這樣呢?”
汪正評微笑著答道“廠內的地面全部打孔,是為了保證空氣從上向下流通,將落塵的可能減到最小。并且房間里的空氣,每5分鐘就要完全的更換一次?!?
說完,汪正評還向孟婉池他們介紹了晶圓廠內走廊頂端的自動運輸系統。
晶圓廠是使用自動化材料處理系統的自動化工廠。為此,芯片在一種稱為前端開啟式晶圓傳送盒fou的封閉容器中進行加工和運輸。使用高架式芯片運輸車oht系統將fou從一組設備運送到另一組。據汪正評說,在大型晶圓廠中,oht軌道可以長達7公里,可容納上百輛汽車。
此時自動化材料處理系統ahs正在以每小時8公里的速度將晶圓在各個制造環節間運輸,24小時不停歇。
u能攜帶6片3寸晶圓,在數公里的高空軌道上經過擴散、清洗、微影、蝕刻、拋光、薄膜與量測等數道程序。目前整個工廠員工總數約有1700人,以輪班制維持24小時生產線運作。
生產線上可以看到有很多身穿無塵衣的技術人員在忙碌著,石莫還和一線作業員進行了短暫的交流,詢問生產的相關情況。
石莫最關心的是生產安全問題,半導體制造行業是一個高危行業,其中很多的化工用品都是致癌物,如苯、氫氟酸、硝酸等,原料上,二氧化硅并沒有毒,但是粉末狀的二氧化硅氣溶膠就會引起塵肺和肺癌,就是有毒的。另外,半導體廠常用的摻雜原料多數有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基鎵等等化合物。它們或直接是劇毒物質,或其與空氣、水等反應